OMAL撥叉式氣動(dòng)執(zhí)行器在半導(dǎo)體制造水回收工藝上的解決方案
作者： 得銳自動(dòng)化發(fā)表時(shí)間：2023-10-07 14:56:21瀏覽量：500【小中大】
半導(dǎo)體制造過(guò)程中，水管理是至關(guān)重要的環(huán)節(jié)。在半導(dǎo)體制造業(yè)中，工廠主要依靠超純水（UPW）進(jìn)行晶圓加工。在加工使用后，UPW廢水會(huì)含有不同種類和濃度的污染物，包括金屬離子、有機(jī)物和微粒物質(zhì)等。這些廢水通常...
半導(dǎo)體制造過(guò)程中，水管理是至關(guān)重要的環(huán)節(jié)。在半導(dǎo)體制造業(yè)中，工廠主要依靠超純水（UPW）進(jìn)行晶圓加工。在加工使用后，UPW廢水會(huì)含有不同種類和濃度的污染物，包括金屬離子、有機(jī)物和微粒物質(zhì)等。這些廢水通常被排放到污水處理系統(tǒng)中。
由于污水中的毒性，必須對(duì)其進(jìn)行處理成為干凈的水，然后重新使用或者從晶圓廠排出。為了解決半導(dǎo)體制造過(guò)程中的水回收問(wèn)題，OMAL撥叉式氣動(dòng)執(zhí)行器提供了一種有效、可靠的解決方案。
OMAL撥叉式氣動(dòng)執(zhí)行器采用先進(jìn)的機(jī)械結(jié)構(gòu)和氣動(dòng)技術(shù)，可以有效地控制和調(diào)節(jié)水回收工藝中的閥門和管道。通過(guò)控制和調(diào)節(jié)閥門和管道，可以實(shí)現(xiàn)廢水處理的各種工藝過(guò)程，包括沉淀、過(guò)濾、消毒和檢測(cè)等。
通過(guò)使用OMAL撥叉式氣動(dòng)執(zhí)行器，半導(dǎo)體制造水回收工藝可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制，提高廢水處理效率，減少人工操作誤差和錯(cuò)誤。此外，撥叉式氣動(dòng)執(zhí)行器還可以提高水回收工藝的安全性和可靠性，減少?gòu)U水排放對(duì)環(huán)境的影響。
OMAL撥叉式氣動(dòng)執(zhí)行器是半導(dǎo)體制造水回收工藝中的一種高效、穩(wěn)定、可靠的解決方案，可以有效地處理和回收廢水和廢氣，提高生產(chǎn)效率和質(zhì)量，并保護(hù)環(huán)境和人體健康。
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